臭氧作為一種強氧化劑，可以容易的將難溶于水的NO氧化成可溶于水的NO2、N2O3、N2O5等高價態氮氧化物。然后在洗滌塔內采用Na2S 和NaOH 等溶液進行吸收，最終將NOX轉化為N2達到脫除的目的，NOX 的去除率高達95%。采用臭氧脫硝的影響因素主要包括摩爾比、反應溫度、反應時間、吸收液性質、臭氧投加系統等。