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成都穩正科技有限公司

摻硼金剛石薄膜

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MW-1070微波等離子設備——10kw

品牌:
面議
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  • 有效期至:長期有效
2025-03-20 10:30 158

產品詳情

生長臺尺寸:φ100mm  

控制方式:觸摸屏控制,PLC工藝菜單運行(手動或自動)

微波電源: MUEGGE  10KW 2.45GHz    

真空泵:Leybold D16C  /  KYKY RV-4三相旋片泵

流量計:日本KOFLOC

H2(1000sccm) 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2(10sccm)

腔體冷卻方式:水冷

測溫:紅外測溫儀300-1400℃

機臺尺寸:1215mm(長)*1114mm(寬)*2000mm(高)

供電:380V  三相五線

能耗:16kw


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