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MW-670微波等離子設(shè)備——6kw

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2025-03-20 10:30 145

產(chǎn)品詳情

生長(zhǎng)臺(tái)尺寸:φ70mm  可同時(shí)生長(zhǎng)7mm*7mm單晶45粒

10mm*10mm單晶21粒

控制方式:觸摸屏控制,PLC工藝菜單運(yùn)行(手動(dòng)或自動(dòng))

微波電源: MUEGGE  6KW 2.45GHz    

真空泵:Leybold D16C  /  KYKY RV-4三相旋片泵

流量計(jì):日本KOFLOC

H2(1000sccm) 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2(10sccm)

腔體冷卻方式:強(qiáng)制風(fēng)冷+水冷

測(cè)溫:紅外測(cè)溫儀300-1400℃

機(jī)臺(tái)尺寸:1215mm(長(zhǎng))*1114mm(寬)*2000mm(高)

供電:380V  三相五線

能耗:12kw


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