生長臺尺寸：φ70mm 可同時生長7mm*7mm單晶45粒
10mm*10mm單晶21粒
控制方式：觸摸屏控制，PLC工藝菜單運行（手動或自動）
微波電源： MUEGGE 6KW 2.45GHz
真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量計：日本KOFLOC
H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）
腔體冷卻方式：強制風冷+水冷
測溫：紅外測溫儀300-1400℃
機臺尺寸：1215mm（長）*1114mm（寬）*2000mm（高）
供電：380V 三相五線
能耗：12kw
2025-03-20 10:30 
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