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成都穩正科技有限公司

摻硼金剛石薄膜

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MW-670微波等離子設備——6kw

品牌:
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  • 有效期至:長期有效
2025-05-22 09:07 94

產品詳情


      生長臺尺寸:φ70mm 可同時生長7mm*7mm單晶45粒
10mm*10mm單晶21粒
      控制方式:觸摸屏控制,PLC工藝菜單運行(手動或自動)
      微波電源: MUEGGE 6KW 2.45GHz
      真空泵:Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
      流量計:日本KOFLOC
H2(1000sccm) 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2(10sccm)

      腔體冷卻方式:強制風冷+水冷
      測溫:紅外測溫儀300-1400℃
      機臺尺寸:1215mm(長)*1114mm(寬)*2000mm(高)
      供電:380V 三相五線
      能耗:12kw


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