聲波清灰是以壓縮空氣作為聲波的能源，高強度的鈦金屬膜片在壓縮空氣氣源作用下自激振蕩，并在諧振腔內產生諧振，把壓縮空氣勢能轉換為低頻聲能，通過空氣介質把聲能傳遞到相應的積灰點，使聲波對灰渣起到“聲致疲勞”的作用，由于聲波振蕩的反復作用，施加于灰、渣的擠壓循環變化的載荷，達到一定的循環應力次數時，灰、渣的結構因疲勞而破壞，然后因重力、或因流體介質媒體將灰渣清除出附著體表面，達到清灰的作用。